真空镀膜技术及设备

蒸发镀膜设备与技术
真空蒸发镀膜设备主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜(镀铝、铬、锡、不锈钢等金属)、七彩膜仿金膜等,从而获得光亮、美观、价廉的塑料,陶瓷表面金属化制品。广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟等领域,
汽车灯具镀保护膜设备及技术
加有等离子体聚合的蒸发镀膜机,针对汽车、摩托车灯具而设计的,在一个真空室内完成蒸发镀铝和射频等离子体镀保护膜,这种镀膜后灯具具有“三防”功能。射频等离子体聚合膜还应用于光学产品、磁记录介质、军事国防保护膜;防潮增透膜;防锈抗腐蚀;耐磨增硬膜。
用户选择在灯具基体上喷底漆、镀铝膜、镀保护膜或灯具基体在真空室进行前处理(不喷底漆)、镀铝膜、镀保护膜工艺。
在ABS,PC,PBT,PE,PP,PA66等塑料基体上直接镀膜,不需喷底漆,也不需喷面漆(不需要投资喷涂设备),在镀完铝膜后直接镀一层保护膜。达到或超过欧洲,美国,日本标准
磁控溅射镀膜设备及技术
a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术,靶材利用率达到70~80%以上,基体镀膜均匀,色泽一致。
b平面磁控溅射镀膜机;
c中频磁控溅射镀膜机;
d射频磁控溅射镀膜机。
可以在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)的工件镀金属铝、铜、钛金、锆、银、不锈钢、镍、钼、硅、钛铝及金属反应物(氧化物、氮化物、炭化物)、半导体金属及反应物。所镀膜层均匀、致密、附着力好等特点。
多弧离子镀膜设备及技术技术
该技术在各种金属和非金属表面上,如不锈钢、铝合金、铜、铁以及陶瓷、玻璃等涂镀各种金属、非金属及其化合物的膜层和复合膜层,如Ti、Zr、TiN、TiC、TiO2、ZrN、ZrC|、ZrO等,产生耐磨、耐蚀、耐用的各种颜色装饰效果:如金色系列、彩色系列、黑色系列等等可广泛用于建筑、家具、机械工模具等行业。
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    eeiii

    真空镀膜就是PVD,我门公司就有,但我不属于那个部门,我参加过培训,我或多或少知道点吧。
    太长了,我不想写,你在百度搜一下啊
    简单的说有两种:
    一种是蒸汽式的,将金属蒸发使其上升,然后遇到一个电场,使其附在被电镀的表面上。
    一种是直接电离发射过去,就好象CRT电视机的电子枪原理一样。

    09-05-04 | 添加评论 | 打赏

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    zhxiaoli_xf

    真空镀膜
      一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。
      在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
      蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法最早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜设备结构如图1。
      蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。
      蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质(图1[蒸发镀膜设备示意图])电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不低于2000[618-1])的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。
      蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。
      为沉积高纯单晶膜层,可采用分子束外延方法。生长掺杂的GaAlAs单晶层的分子束外延装置如图2[ 分子束外延装置示意图]。喷射炉中装有分子束源,在超高真空下当它被加热到一定温度时,炉中元素以束状分子流射向基片。基片被加热到一定温度,沉积在基片上的分子可以徙动,按基片晶格次序生长结晶用分子束外延法可获得所需化学计量比的高纯化合物单晶膜,薄膜最慢生长速度可控制在1单层/秒。通过控制挡板,可精确地做出所需成分和结构的单晶薄膜。分子束外延法广泛用于制造各种光集成器件和各种超晶格结构薄膜。
      溅射镀膜 用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面,沉积在基片上。溅射现象于1870年开始用于镀膜技术,1930年以后由于提高了沉积速率而逐渐用于工业生产。常用的二极溅射设备如图3[ 二极溅射示意图]。通常将欲沉积的材料制成板材──靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入 10~1帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶表面原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。与蒸发镀膜不同,溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法,即将反应气体 (O、N、HS、CH等)加入Ar气中,反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉积在基片上。沉积绝缘膜可采用高频溅射法。基片装在接地的电极上,绝缘靶装在对面的电极上。高频电源一端接地,一端通过匹配网络和隔直流电容接到装有绝缘靶的电极上。接通高频电源后,高频电压不断改变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分别打到绝缘靶上。由于电子迁移率高于正离子,绝缘靶表面带负电,在达到动态平衡时,靶处于负的偏置电位,从而使正离子对靶的溅射持续进行。采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。
      
      离子镀 蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度大大提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。
      参考书目
      金原粲著,杨希光译:《薄膜的基本技术》,科学出版社,北京,1982。(金原粲著:《薄膜の基本技》,京大学出版会,京,1976。)
      光学镀膜材料(纯度:99.9%-99.9999%)
      1. 高纯氧化物:
      一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3,氧化铋、Bi2O3,氧化镨、Pr6O11,氧化锑、Sb2O3,氧化钒、V2O5,氧化镍、NiO,氧化锌、ZnO,氧化铁、Fe2O3,氧化铬、Cr2O3,氧化铜、CuO等。
      2. 高纯氟化物:
      氟化镁、MgF2,氟化镱、YbF3,氟化钇、LaF3,氟化镝、DyF3,氟化钕、NdF3,氟化铒、ErF3,氟化钾、KF,氟化锶、SrF3,氟化钐、SmF3,氟化钠、NaF,氟化钡、BaF2,氟化铈、CeF3,氟化铅等。
      3. 高纯金属类:
      高纯铝,高纯铝丝,高纯铝粒,高纯铝片,高纯铝柱,高纯铜,高纯铜丝,高纯铜片,高纯铜粒,高纯铬,高纯铬粒,高纯铬粉,高纯铬块,铬条,高纯钴,高纯钴粒,高纯金,高纯金丝,高纯金片,高纯金粒,高纯银,高纯银丝,高纯银粒,高纯银片,高纯铂,高纯铂丝,高纯铪,高纯铪粉,高纯铪丝,高纯铪粒,高纯钨,高纯钨粒,高纯钼,高纯钼粒,高纯钼片,高纯硅,高纯单晶硅,高纯多晶硅,高纯锗,高纯锗粒,高纯锰,高纯锰粒,高纯钴,高纯钴粒,高纯铌,高纯锡,高纯锡粒,高纯锡丝,高纯钨,高纯钨粒,高纯锌,高纯锌粒,高纯钒,高纯钒粒,高纯铁,高纯铁粒,高纯铁粉,高纯钛,高纯钛片,高纯钛粒,海面钛,高纯锆,高纯锆丝,海绵锆,碘化锆,高纯锆粒,高纯锆块,高纯碲,高纯碲粒,高纯锗,高纯镍,高纯镍丝,高纯镍片,高纯镍柱,高纯钽,高纯钽片,高纯钽丝,高纯钽粒,高纯镍铬丝,高纯镍铬粒,高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等.
      4. 混合料:
      氧化锆氧化钛混合料,氧化锆氧化钽混合料,氧化钛氧化钽混合料,氧化锆氧化钇混合料,氧化钛氧化铌混合料,氧化锆氧化铝混合料,氧化镁氧化铝混合料,氧化铟氧化锡混合料,氧化锡氧化铟混合料,氟化铈氟化钙混合料等混合料
      5. 其他化合物:
      钛酸钡,BaTiO3,钛酸镨,PrTiO3,钛酸锶,SrTiO3,钛酸镧,LaTiO3,硫化锌,ZnS,冰晶石,Na3AlF6,硒化锌,ZnSe,硫化镉,硫化钼,硫化铜,二硅化钼。
      6. 辅料:
      钼片,钼舟、钽片、钨片、钨舟、钨绞丝。
      二、溅射靶材(纯度:99.9%-99.999%)
      1. 金属靶材:
      镍靶、Ni靶、钛靶、Ti靶、锌靶、Zn靶、铬靶、Cr靶、镁靶、Mg靶、铌靶、Nb靶、锡靶、Sn靶、铝靶、Al靶、铟靶、In靶、铁靶、Fe靶、锆铝靶、ZrAl靶、钛铝靶、TiAl靶、锆靶、Zr靶、硅靶、Si靶、铜靶,Cu靶、钽靶,Ta靶、锗靶、Ge靶、银靶、Ag靶、钴靶、Co靶、金靶、Au靶、钆靶、Gd靶、镧靶、La靶、钇靶、Y靶、铈靶、Ce靶、、铪靶、Hf靶、钼靶、Mo靶、铁镍靶、FeNi靶、钨靶、W靶、不锈钢靶、镍铁靶,铁钴靶,镍铬靶,铜铟镓靶,铝硅靶NiCr靶等金属靶材。
      2. 陶瓷靶材
      ITO靶、AZO靶,氧化镁靶、氧化铁靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、硫化镉靶,硫化钼靶,二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶,五氧化二钽靶,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、氟化镁靶,硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材。
    真空镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景特别是在制造大规模集成电路的电学膜:数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜:在能充分展示和应用各种光学特性的光学膜;在计算机显示用的感光膜;在,平面显示器上的导电膜和增透膜;在建筑,汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜;在包装领域用防护膜,阻隔膜;在装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜;在工,模具上应用的耐磨超硬膜:在纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等等都是真空镀膜技术及设备在广泛应的基础上得到的不断发展的领域.

    10-03-15 | 添加评论 | 打赏

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    光耀五金

    东莞市汇成真空科技有限公司,专业生产各类真空镀膜设备,更多产品信息请登陆:http://www.51dumoji.com

    11-05-14 | 1条评论 | 打赏

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    zhenhuavacuum

    真空镀膜设备供应商-振华真空于1992年成立,至今已有20年真空镀膜制造经验。
    主打产品有:立式全自动镀膜机,磁控溅射镀膜机,连续式镀膜生产线,光学镀膜机,蒸发式镀膜机,多弧离子镀膜机及真空等离子清洗机等真空镀膜设备。
    联 系 人:王小姐 电 话:0758-2787178(工厂) 或 0755-26500053(深圳办事处)
    网址:http://www.zhenhuavacuum.com.cn & http://www.zhenhuavacuum.com

    12-09-14 | 添加评论 | 打赏

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