3N5圆形钽靶应用于何种镀膜设备?

3N5的直径为355.6的圆形钽靶主要应用于何种镀膜设备呢?我在网上搜了不少资料但就是一直没找到答案,还望哪位镀膜设备的大神赐教!跪求!
16-04-28  进击的小静静 发布
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